低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

低溫泵的特點(diǎn)

1）在結(jié)構(gòu)上對稱布置，使泵在低溫下均勻收縮。為了保持低溫和防止介質(zhì)泄漏，采用雙殼體的結(jié)構(gòu)。 

2）為了防止摩擦發(fā)熱而導(dǎo)致液化氣汽化而燒壞摩擦面，多采用平衡孔、對稱布置和止推軸承，很少采用平衡盤來平衡軸向力（必要時(shí)采用平衡鼓）。

3）為了改善吸入條件、氣體分離、不受氣溫的影響和軸向伸縮，采用立式簡袋泵結(jié)構(gòu)較為有利。

4）在結(jié)構(gòu)上還應(yīng)避免低溫脆性的影響。

5）軸承應(yīng)注意低溫的影響，如同間隙大小并適當(dāng)選取摩擦性能好的材料（如四氟乙烯、石墨等）。

6）軸承應(yīng)考慮干摩擦的可能并采取防止凍結(jié)的措施和啟動(dòng)的預(yù)冷的措施。

7）選用材料時(shí)應(yīng)注意材料的低溫脆性。

8）在使用時(shí)應(yīng)采取保冷、除濕、預(yù)冷、防凍等措施